維薩拉 BAROCAP 微型機械壓力傳感器
日期:2025-01-10 02:21
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摘要:維薩拉 BAROCAP 微型機械壓力傳感器在廣泛應用中為用戶提供可靠的性能,可在從氣象到工業測量的廣泛應用中提供可靠的性能。采用了兩項強大技術:單晶硅材料和電容測量,BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準確度和長期穩定性。
維薩拉 BAROCAP 微型機械壓力傳感器在廣泛應用中為用戶提供可靠的性能
動態黑色音符
維薩拉 BAROCAP® 于 1985 年**推出,是一種硅基微型機械壓力傳感器,可在從氣象到工業測量的廣泛應用中提供可靠的性能。采用了兩項強大技術:單晶硅材料和電容測量,BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準確度和長期穩定性。
BAROCAP® 簡介
? 超過 35 年的**的壓力測量
? 用于優良壓力測量的硅基電容式傳感器
? 氣壓范圍 500...1100 hPa
? 適用于工業應用的 50...1100 hPa 壓力范圍
? 工藝過程壓力測量范圍 1...10 bar
? NIST 可溯源的壓力測量
BAROCAP® 的獨特優勢
? 低滯后,高復現性
? **的長期穩定性
? 可承受惡劣條件
工作原理
BAROCAP® 是一種微型機械傳感器,它利用其硅膜的尺寸變化來測量壓力。隨著周圍壓力增加或降低,膜會彎曲,從而增大或減小傳感器內部真空間隙的高度。真空間隙相對的兩個面充當電極,隨著兩個電極之間距離的變化,傳感器的電容也會發生變化。測量電容并將其轉換為壓力讀數。
BAROCAP® 傳感器特性 —— 該傳感器的單晶硅材質帶來了良好的特性:彈性好、滯后性低、重復性好、低溫依賴性和**的長期穩定性。電容式結構使傳感器具有較寬的動態范圍,并為超壓阻斷提供了內置機制。
氣壓測量典型應用
氣壓測量在氣象學中具有廣泛的應用。需要氣壓數據來估計大氣中可沉淀的水蒸氣量。典型的應用包括氣象站、數據浮標、GPS 氣象學和環境數據記錄。氣壓測量也用于水文學和土壤學應用。
在多種工業應用中也需要氣壓數據。在對壓力敏感的工業設備(如激光干涉儀和光刻系統)、航空應用以及在廢氣分析中需對氣壓進行測量。計量應用包括實驗室壓力標準測量和校準實驗室中的環境監測。
維薩拉提供一系列用于室內外的專業級氣壓計。BAROCAP® 氣壓計在大跨度溫度范圍內適用,在高要求的應用環境下(如專業的氣象和航空)也有可靠表現。
BAROCAP® 在加壓系統中的測量應用
維薩拉 DRYCAP® 露點儀表具有悠久的歷史,可在壓縮空氣系統中提供可靠、穩定的測量結果,并在高壓設備中提供 SF6 隔離氣體監測。除了需要進行露點測量外,這兩個應用也需要進行**而穩定的壓力測量。維薩拉已將其 DRYCAP 和 BAROCAP 技術集成到一系列產品中,這些產品為加壓系統提供壓力和露點測量的獨特組合。
在壓縮空氣中,將露點測量與實時過程壓力數據相結合可提供獨特的優勢:可在線將測得的壓力露點轉換為大氣壓力或 ppm 單位,從而消除了露點數據中出現任何歧義的可能性。這一點很重要,因為受監視氣體的壓力變化會改變其露點。
在高壓設備的 SF6 氣體監測中將露點和壓力測量相結合,可為評估 SF6 隔離狀況提供出色的工具??梢粤⒓礄z測到泄漏,并針對水分問題進行預警。通過測量露點、壓力和溫度,可以計算 SF6 氣體密度、歸一化壓力、大氣壓力下的露點和 ppm ——這是 SF6 監視中的所有基本要素。
BAROCAP® 傳感器
BAROCAP® 傳感器的橫截面
BAROCAP® 故事
BAROCAP® 的故事始于 20 世紀 70 年代后期,當時對新一代維薩拉 Radiosonde RS80 進行了微型機械壓力傳感器的初步研究。事實證明,微型機械具有挑戰性,維薩拉與芬蘭及國際上的大學和研究機構緊密合作,開發了一種基于硅加工的壓力傳感新技術。在項目臨近截止日期時取得了關鍵性突破。首批 BAROCAP® 傳感器交付給了兩個破冰船廠家以及赫爾辛基電話公司。
BAROCAP® 傳感器已經到達了人類從未涉足的地方,包括參與幾次火星探測任務和卡西尼-惠更斯號任務(探索土星及其*大的衛星泰坦)。BAROCAP® 沖出地球走向外太空的旅程沒有停步,它已被納入構成 NASA 火星科學實驗室(2011 年 11 月啟動)一部分的儀器中。
動態黑色音符
維薩拉 BAROCAP® 于 1985 年**推出,是一種硅基微型機械壓力傳感器,可在從氣象到工業測量的廣泛應用中提供可靠的性能。采用了兩項強大技術:單晶硅材料和電容測量,BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準確度和長期穩定性。
BAROCAP® 簡介
? 超過 35 年的**的壓力測量
? 用于優良壓力測量的硅基電容式傳感器
? 氣壓范圍 500...1100 hPa
? 適用于工業應用的 50...1100 hPa 壓力范圍
? 工藝過程壓力測量范圍 1...10 bar
? NIST 可溯源的壓力測量
BAROCAP® 的獨特優勢
? 低滯后,高復現性
? **的長期穩定性
? 可承受惡劣條件
工作原理
BAROCAP® 是一種微型機械傳感器,它利用其硅膜的尺寸變化來測量壓力。隨著周圍壓力增加或降低,膜會彎曲,從而增大或減小傳感器內部真空間隙的高度。真空間隙相對的兩個面充當電極,隨著兩個電極之間距離的變化,傳感器的電容也會發生變化。測量電容并將其轉換為壓力讀數。
BAROCAP® 傳感器特性 —— 該傳感器的單晶硅材質帶來了良好的特性:彈性好、滯后性低、重復性好、低溫依賴性和**的長期穩定性。電容式結構使傳感器具有較寬的動態范圍,并為超壓阻斷提供了內置機制。
氣壓測量典型應用
氣壓測量在氣象學中具有廣泛的應用。需要氣壓數據來估計大氣中可沉淀的水蒸氣量。典型的應用包括氣象站、數據浮標、GPS 氣象學和環境數據記錄。氣壓測量也用于水文學和土壤學應用。
在多種工業應用中也需要氣壓數據。在對壓力敏感的工業設備(如激光干涉儀和光刻系統)、航空應用以及在廢氣分析中需對氣壓進行測量。計量應用包括實驗室壓力標準測量和校準實驗室中的環境監測。
維薩拉提供一系列用于室內外的專業級氣壓計。BAROCAP® 氣壓計在大跨度溫度范圍內適用,在高要求的應用環境下(如專業的氣象和航空)也有可靠表現。
BAROCAP® 在加壓系統中的測量應用
維薩拉 DRYCAP® 露點儀表具有悠久的歷史,可在壓縮空氣系統中提供可靠、穩定的測量結果,并在高壓設備中提供 SF6 隔離氣體監測。除了需要進行露點測量外,這兩個應用也需要進行**而穩定的壓力測量。維薩拉已將其 DRYCAP 和 BAROCAP 技術集成到一系列產品中,這些產品為加壓系統提供壓力和露點測量的獨特組合。
在壓縮空氣中,將露點測量與實時過程壓力數據相結合可提供獨特的優勢:可在線將測得的壓力露點轉換為大氣壓力或 ppm 單位,從而消除了露點數據中出現任何歧義的可能性。這一點很重要,因為受監視氣體的壓力變化會改變其露點。
在高壓設備的 SF6 氣體監測中將露點和壓力測量相結合,可為評估 SF6 隔離狀況提供出色的工具??梢粤⒓礄z測到泄漏,并針對水分問題進行預警。通過測量露點、壓力和溫度,可以計算 SF6 氣體密度、歸一化壓力、大氣壓力下的露點和 ppm ——這是 SF6 監視中的所有基本要素。
BAROCAP® 傳感器
BAROCAP® 傳感器的橫截面
BAROCAP® 故事
BAROCAP® 的故事始于 20 世紀 70 年代后期,當時對新一代維薩拉 Radiosonde RS80 進行了微型機械壓力傳感器的初步研究。事實證明,微型機械具有挑戰性,維薩拉與芬蘭及國際上的大學和研究機構緊密合作,開發了一種基于硅加工的壓力傳感新技術。在項目臨近截止日期時取得了關鍵性突破。首批 BAROCAP® 傳感器交付給了兩個破冰船廠家以及赫爾辛基電話公司。
BAROCAP® 傳感器已經到達了人類從未涉足的地方,包括參與幾次火星探測任務和卡西尼-惠更斯號任務(探索土星及其*大的衛星泰坦)。BAROCAP® 沖出地球走向外太空的旅程沒有停步,它已被納入構成 NASA 火星科學實驗室(2011 年 11 月啟動)一部分的儀器中。